KASHIYAMA工業的產品在半導體制造領域和高科技行業中已經榮獲了極高的評價與信賴。尤其是來自于半導體制造行業的信賴,這是KASHIYAMA工業多年長期以來不斷開發進取真空技術的結果。

KASHIYAMA工業的干式真空泵系列已經成為半導體制造業與液晶顯示制造行業的標準設備。并在極高難度的制程發揮上獲得了客戶的信賴與評價。除了干式真空泵以外,魯式及排氣組合式真空泵設備在廣泛的領域當中發揮它的威力。

產品詳細信息:

プロダクトガイド - LEH/LEMシリーズ - 製品の特徴 ポンプの構造原理:當社製水封式真空ポンプは円形ケーシングと羽根車より本體を構成し羽根車はケーシングと偏心した位置に取り付けられています。ケーシング內に適當量の水を入れて羽根車を回転させると、水は遠心力によってケーシングと同心の円形狀の水膜を作りながら運動します。

これにより水膜と隣接する羽根と羽根とによって密閉された空間が生じ、羽根車が回転するにしたがって空間は容積変化して、吸入、圧縮、排気を連続的に行ない非常に高能率なポンプとなっています。

公害問題の面から吸引気體中に含まれる種々の有害ガスが水に溶解または混合して排出されるのを防ぐため封水を直接流出させないで循環させて使用する方式もあります。

LEH/LEMシリーズの特徴:

水蒸気や水滴を含んだ気體の排気に適である。

引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる。

摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる。

低騒音でかつ振動が少ない。

連続排気で脈動がない。

軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易。

全機種エルモ形で従來のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい。

定流量弁を內蔵して適量給水方式を採用している。

LEH型は2段ポンプで高真空用に、LEM型はモーター直結型ポンプでコンパクト、軽量です。

        真空泵LEH100MS

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真空泵NeoDry 36E

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